成立于1991年2月的曙光东芝晶圆公司（TTFAB），注册资本金15亿元人民币，15亿股，曙光通讯集团持有9亿股，占股60%；东芝半导体公司持有6亿股，占股40%。
经过13年的快速发展，曙光东芝晶圆公司一共投资44.3亿美元（相当于366.361亿元人民币）引进了5条半导体生产线，如今注册资本金366.361人民币，366.361亿股，曙光通讯集团持有219.8166亿股，占股60%；东芝半导体公司持有146.5444亿股，占股40%。
2003年年报显示，曙光东芝晶圆公司销售收入366.77亿元人民币，净利润91.71亿元人民币，每股收益2.07元人民币，总资产714.03亿元人民币，净资产597.18亿元人民币，每股净资产13.48元人民币。
曙光东芝晶圆公司从2002年年报开始，由沪海德勤会计事务所审核年报。
曙光东芝公司计划2005年上半年向全球特定投资者增发新股，到港交所主板上市。
当年，按照漕河泾新技术园区的优惠政策，300亩土地使用费减半，曙光东芝晶圆公司从开始获利的年度起，第一年和第二年免征所得税，第三年至第五年减半征收所得税。
除了第一年因良品率爬坡而亏损外，年年盈利，盈利逐渐增加，12年过去，赚得盆满钵满，每年拿出30%的利润分红，70%的利润转入资本公积金，用于购买新的半导体生产线。
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